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中国DUV设备或取得进展
上海国资企业据称推进浸没式DUV设备,以降低对ASML依赖。
推荐理由:
若浸没式DUV国产化属实,中国可覆盖大量成熟制程芯片生产,缓解ASML出口限制;但对先进GPU所需EUV替代仍有限。
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